17세기에 장 라브뤼에르는 세계에는 장인보다 도구가 더 많다고 언급하였다.

장점

텅스텐 스퍼터링 타겟은 탁월한 내열성(W는 +3422°C에서 녹음), 높은 탄성 계수 및 온도 크립 저항성을 갖추고 있으며, 다른 재료들 중에서 가장 낮은 열팽창 계수, 강도, 신뢰성 및 내구성을 가지고 있습니다.

단점

단점으로는 높은 생산 비용을 들 수 있습니다. 텅스텐은 희소 금속에 속하며, 순수한 형태로 추출하기 어렵고 가공이 쉽지 않다는 점이 있습니다.

생산 및 적용

텅스텐 타겟은 평판이나 디스크, 튜브 형태로 생산되며, 고객의 도면에 따라 다양한 구성 및 크기, 공차에 따라 생산됩니다. 복잡한 형상의 타겟을 위해서는 구리로 포화된 분말 스틱의 기계적 가공이 사용됩니다. 가공 후, 구리를 진공 내에서 태워내면 분말 제품의 밀도가 90%로 증가합니다. 텅스텐 튜브는 초음파 성형을 통해 제조할 수 있습니다. 철저한 생산 기술 및 재료 순도 준수는 높은 강도와 내열성을 보장합니다. 가격은 구성의 복잡성, 크기 및 주문 시 명시된 추가 요구 사항에 따라 결정됩니다. 이러한 타겟은 태양 전지, 광학 기기 및 기타 얇은 필름을 코팅하는 데 사용됩니다.

텅스텐 타겟의 종류:

· В-ПМ

· В-ППМ

· ВА

· ЦСВД

평판 타겟의 최대 크기:

· 디스크형 타겟 Ø630 mm;

· 직사각형 타겟: 400x1550 mm;

표준 타겟 파라미터:

· 44.000″ x 4.75″ x 0.71″

· 3.17−9.5x304.8x304.8 mm

· 812x127x8 mm

· 14x108x1462 mm

· 15x133x778 mm

· 18x248x300 mm

· 214x1600x11 mm

· Ø322 mmx δ

· Øн 157xØвн125L1900 mm

· Øн152xØвн125xL800 mm

· Øн152xØвн132.5xL750 mm

· Øн168x Øвн144xL1000 mm

· Øн165,5xØвн125xL1650 mm

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